刘仁智
,
孙院军
,
王快社
,
安耿
,
李晶
,
王引婷
稀有金属材料与工程
将4种组织差异较大的钼靶材在同一溅射设备,同一溅射工艺下进行磁控溅射试验,对溅射后的靶材表面及薄膜表面、截面形貌及方阻进行检测,讨论并分析靶材微观组织对溅射过程及薄膜形貌、晶向、导电性能的影响.结果表明,不同组织靶材溅射的薄膜表面及截面形貌差异较小；靶材80％的晶粒尺寸小于50 μm时,溅射薄膜沉积速率较快,方阻值的变化较小,薄膜厚度较均匀；钼靶材溅射薄膜的择优均为(110)取向,靶材组织对溅射薄膜的取向影响不大；靶材组织的晶粒均匀细小,晶界所占面积率越大,靶材减薄越均匀,靶材利用率越高.
关键词:
钼靶材
,
溅射薄膜
,
形貌
,
方阻
