崔江涛
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田修波
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胡新东
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杨士勤
稀有金属材料与工程
采用直流磁控溅射在钢基体上制备了铌薄膜,分别采用扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、球盘式摩擦磨损实验机和电化学分析仪研究了不同溅射气压下铌膜表面形貌、相结构、耐磨性以及耐蚀性.结果表明:低压强下,晶粒细小,膜层平滑,晶粒择优取向为(110)晶面;压强升高使得晶粒粗大,粗糙度明显提高,择优取向转变为(211)晶面.较高的和较低的溅射压强对耐磨性和耐蚀性的提高较大,适中的压强对铌膜的性能提高反而较小,这可能是由于表面缺陷和组织结构的不同造成的.
关键词:
溅射气压
,
铌膜
,
耐磨性
,
耐蚀性
范洪远
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樊庆文
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向文欣
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李伟
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邱绍宇
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应诗浩
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张西鹏
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沈保罗
稀有金属材料与工程
研究了铬膜和铌膜的复合对锆合金基体上制备的直流磁控溅射薄膜附着性的影响.使用扫描电镜(SEM)观察了膜层界面,用原子力显微镜(AFM)观察了膜层表面,用划痕法测定了薄膜的附着性.结果表明:膜/基界面结合良好,界面成分升降区狭窄;铬膜与铌膜组成的复合薄膜结合紧密;铬膜的组织为致密、边界孔洞少的纤维状晶粒,铬膜厚度为2 μm时,晶粒仍为亚微米级,但晶粒顶面已出现拱形;膜厚同为2μm时,外层1μm铌膜+内层1 μm铬膜组成的复合膜的附着性分别是外层1 μm铬膜+内层1μm铌膜组成的复合膜的2.35倍、2 μm铬膜附着性的3倍,其原因在于膜层组织及力学性能变化、铌膜韧性好和复合顺序.因此,依靠铬膜厚度的增加来提高铬膜保护性的方法具有较大局限性,通过在一定厚度的铬膜外复合铌膜的方法则有较好的可行性.
关键词:
锆合金
,
铬膜
,
铌膜
,
复合
,
附着性
