许伟
,
胡芳
,
代明江
,
陈梓赫
,
林松盛
,
侯惠君
电镀与涂饰
采用直流磁控溅射技术在烧结型NdFeB永磁体表面沉积Al薄膜，研究了喷丸和铬酸盐化学转化后处理方法对Al薄膜微观形貌和耐腐蚀性能的影响。研究表明，喷丸可以有效地减少铝薄膜的孔隙率，提高膜层的致密性；喷丸压力为0.20 MPa时，Al膜层的致密性最好且不会剥落；喷丸和化学转化复合后处理可以极大程度地提高Al薄膜的耐蚀性，其耐中性盐雾腐蚀时间可由镀态时的155 h提高到320 h。
关键词:
钕铁硼永磁体
,
铝薄膜
,
磁控溅射
,
喷丸
,
铬酸盐化学转化
,
耐蚀性
李冬梅
,
陈菁菁
,
李晖
,
潘峰
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2003.08.012
研究了磁控溅射和电子束蒸镀工艺对在LiNbO3基片上沉积铝膜的结构、表面形貌的影响.采用匀胶、曝光和反应离子刻蚀工艺,制备出中心频率在920MHz纵向谐振耦合换能器结构的声表面波滤波器.结果表明,电子束蒸镀的铝膜与LiNbO3单晶间具有较好的结合力,具有适合SAWF器件制备所需的微观结构,在随后的叉指换能器制备过程中表现出良好的加工性能和声传播特性.
关键词:
铝薄膜
,
声表面波材料
,
LiNbO3
,
谐振耦合换能器
