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后处理对NdFeB永磁体表面磁控溅射铝薄膜耐腐蚀性能的影响

许伟 , 胡芳 , 代明江 , 陈梓赫 , 林松盛 , 侯惠君

电镀与涂饰

采用直流磁控溅射技术在烧结型NdFeB永磁体表面沉积Al薄膜,研究了喷丸和铬酸盐化学转化后处理方法对Al薄膜微观形貌和耐腐蚀性能的影响。研究表明,喷丸可以有效地减少铝薄膜的孔隙率,提高膜层的致密性;喷丸压力为0.20 MPa时,Al膜层的致密性最好且不会剥落;喷丸和化学转化复合后处理可以极大程度地提高Al薄膜的耐蚀性,其耐中性盐雾腐蚀时间可由镀态时的155 h提高到320 h。

关键词: 钕铁硼永磁体 , 铝薄膜 , 磁控溅射 , 喷丸 , 铬酸盐化学转化 , 耐蚀性

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