张玉姣
,
刘庆锁
,
陆翠敏
,
李伟
,
卢明超
机械工程材料
在铁电陶瓷锆钛酸铅（PZT）表面沉积不连续的NiTi形状记忆合金（SMA）薄膜，运用XRD、SEM和动态弹性模量测试仪研究了其显微组织及阻尼特性。结果表明：与PZT相比，NiTi SMA薄膜／PZT复合材料的阻尼性能下降；原因是PZT基体与NiTi SMA薄膜在晶化冷却时的收缩不一致导致在PZT基体中靠近薄膜的区域形成了组织异常区，限制了电偶极子的运动，在外界应力作用下薄膜与基体两者的应变不协调加强了异常区对电偶极子运动的限制。
关键词:
锆钛酸铅(PZT)
,
NiTi
,
形状记忆合金
,
显微组织
,
阻尼
娄利飞
,
杨银堂
,
李跃进
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.06.018
对硅基锆钛酸铅(PZT)压电薄膜微开关进行了结构和版图设计,根据MEMS加工工艺和标准硅基IC工艺的特点,获得了硅基PZT压电薄膜微悬臂梁结构系统工艺流程中的关键工艺技术和典型工艺条件,对多孔硅的选择性生长进行了较为详细的实验研究,最后成功的制备出硅基PZT压电薄膜微开关样品,这对集成化芯片系统的进一步发展打下了必要的良好的实验基础.
关键词:
锆钛酸铅(PZT)
,
压电薄膜
,
微开关
,
多孔硅
