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阴极刻蚀法制备超疏水铝镀层及其抗腐蚀性能研究

陈志磊 , 帅茂兵

表面技术

对硅基磁控溅射铝镀层表面加载阴极电流,在镀层表面构建了微纳复合结构,并通过十四酸修饰获得稳定的超疏水膜.研究了超疏水表面的形成机制与结构特征,分析了超疏水表面的抗腐蚀性能.结果表明:经阴极刻蚀处理后,铝镀层表面形成了覆盖纳米级絮状物的腐蚀孔,呈现出珊瑚网状结构；再经十四酸有机修饰后,达到超疏水状态,十四酸在镀层表面形成了稳定的化学吸附,样品腐蚀阻效达到98.9％,抗腐蚀性能显著提高.

关键词: 铝镀层 , 阴极刻蚀 , 超疏水 , 抗腐蚀