梁景舒
,
陈子毅
,
余梦影
,
江绍基
材料科学与工程学报
建立一个雕塑薄膜三维生长的蒙特卡罗模型,模拟在PVD方法下Si在Si（100）基底上沉积的生长,考虑周期性排列预结构基底的阴影效应,模拟不同预结构单元宽度、间距及不同入射角度下斜柱状雕塑薄膜的三维形貌。结果表明,在入射角和宽度一定时,存在一个最佳间宽比值使得薄膜表面粗糙度最小;当宽度大于一定数值,粗糙度随间宽比值增大而增大。在相同预结构基底下,随入射角增大,薄膜的表面粗糙度增大;而薄膜的相对密度曲线变得平缓均匀。
关键词:
雕塑薄膜
,
蒙特卡罗模型
,
预结构
,
表面粗糙度
,
相对密度
王素梅
,
王建国
,
付小勇
,
范正修
,
贺洪波
,
邵建达
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.024
倾斜沉积技术制备的雕塑薄膜是一种新型的、具有各向异性结构的薄膜材料.根据基片旋转方式的不同,可得到螺旋状、S形状、C形状、弯曲柱状等不同结构的薄膜,并且出现了晶体中的双折射现象.雕塑薄膜可以实现各向同性薄膜无法实现的光学性质,为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径.本文综述了雕塑薄膜的制备方法,分析了雕塑薄膜的微结构与双折射特性,并阐述了其在光学领域内的应用潜力.
关键词:
雕塑薄膜
,
倾斜沉积
,
双折射
,
各向异性
肖秀娣
,
董国平
,
余华
,
范正修
,
贺洪波
,
邵建达
稀有金属材料与工程
倾斜沉积是一种新型的薄膜沉积技术.通过制备过程中基片的旋转和倾斜,可以制备出斜柱状、之字形、螺旋状、S形以及C形等各种形状的雕塑薄膜.雕塑薄膜可以实现许多传统薄膜无法实现的光学性质,为光学薄膜的设计与制备开辟了新的途径.本文综述了雕塑薄膜的制备方法,分析了雕塑薄膜的结构特征及影响因素,并阐述了其在光学领域的广泛应用前景.
关键词:
倾斜沉积
,
雕塑薄膜
,
各向异性
