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原词结果 | 译词结果

大位移自对准光开关微动作器的模拟和制作

王浙辉 , 李铁 , 王跃林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.03.016

报导了一种新型静电驱动扭转梁大位移微机械光开关微动作器的模拟、设计和制作.模拟结果表明,该微动作器的第一模态频率远低于第二模态,镜子的位移由梁的扭转引起.在32.8V的电压驱动下,上电极的前端位移是 69.6μ m,镜子的有效位移是 57μ m.测到第一模态频率是500Hz.利用本结构可成功地解决开关速度和大位移的矛盾.这样的位移足够使用 Corning OptiFocus Collimating Lensed Fiber来对准,从而获得低插入损耗.

关键词: 光开关 , 微动作器 , 位移 , 静电驱动 , 有限元分析

一种硅微振动角速度传感器

苏岩 , 杨拥军 , 王寿荣 , 周百令

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.02.014

介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果.实验结果表明,该角速度传感器实验样机已具有一定的性能,其灵敏度为:3.2mV/(o@s-1);量程为:±500o/s;线性度:1%.

关键词: 角速度传感器 , 静电驱动 , 电容检测

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