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VO2薄膜的研究和应用进展

张弛 , 刘梅冬 , 曾亦可 , 刘少波 , 黄焱球

材料导报

综述了VO2薄膜的制备工艺,着重探讨了热处理工艺和条件对其性能的影响,并介绍了它的最新应用情况.

关键词: VO2薄膜 , 制备工艺 , 热处理 , 非制冷红外焦平面 , 光阀 , 激光器反射镜