周平
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路秀琴
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郭继宇
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赵葵
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吴伟明
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隋丽
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倪嵋楠
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梅俊平
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罗红兵
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刘建成
原子核物理评论
doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2004.03.014
介绍在中国原子能科学研究院HI-13串列加速器上, 对α-Si1-xCx∶H薄膜样品进行弹性反冲探测分析的方法和结果.用该加速器提供的高品质127I束流轰击α-Si1-xCx∶H薄膜材料样品, 用ΔE(gas)-E(PSD)望远镜探测器, 在前角区(30°角)测量从该样品中反冲的各元素的能谱.然后用离子束分析(IBA)程序SIMNRA 对能谱进行拟合, 得到样品中H, C和Si的比分及深度分布.
关键词:
弹性反冲探测分析
,
非晶氢化硅碳薄膜
,
ΔE-E望远镜探测器
