孙孪鸿
,
徐家跃
,
邹军
,
王凤超
硅酸盐通报
在传统的衬底上生长出的GaN都是沿着极性轴c轴方向的,非极性GaN薄膜克服了极性薄膜中因为产生内建电场而带来的发光效率和结晶质量的问题.本文主要介绍了非极性GaN薄膜的结构特性、薄膜的制备方法、不同衬底上生长非极性GaN薄膜的研究进展及其器件应用.
关键词:
非极性GaN
,
蓝宝石
,
同质外延
,
GaN基器件
杨新波
,
徐军
,
李红军
,
毕群玉
,
程艳
,
苏良碧
,
周国清
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00783
采用温梯法生长了非极性GaN外延衬底r(0112)面蓝宝石,使用化学机械抛光加工衬底表面,对衬底的结晶质量、光学性能和加工质量进行了研究.结果显示r面蓝宝石衬底基本性能参数如下:平均半峰宽值为19.4arcsec;位错密度为5.6×103cm-2,波长大于300nm时的平均透过率大于80%;光学均匀性△n=6.6×10-5;平均表面粗糙度为0.49nm.结果表明,温梯法生长的r(0112)面蓝宝石衬底结晶质量好、位错密度低、光学性能优良、加工的表面质量高,达到了GaN外延衬底的标准.
关键词:
r面蓝宝石
,
非极性GaN
,
衬底
