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非致冷红外焦平面阵列用铁电薄膜

谢波玮 , 李弢 , 古宏伟

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2005.01.021

在简要阐述红外成像发展现状基础上,系统介绍了铁电薄膜的性质、制备及在非致冷红外热成像系统应用中的一些热点问题.重点介绍当前有重大技术突破的介质测辐射热式焦平面探测器,比较了热释电模式、介电模式的优缺点及发展前景.由于介质测辐射热式信号获得方式较热释电式有较高的比探测率、响应率、成象精度和质量及较轻的体积和重量,可以预测在不断提高探测用铁电薄膜介电温度系数、损耗及大面积均匀性,不断改进其读出电路的基础上,将成为今后铁电非致冷红外热成像发展的主流.

关键词: 非致冷红外热成像 , 铁电薄膜 , 介电-温度响应 , 热释电性

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