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基于类金刚石沉积的短脉宽XeCl激光设计及脉宽分析

任韧 , 陈长乐 , 徐进 , 金克新 , 王永仓 , 王跃龙 , 汪世林 , 宋宙模 , 袁孝

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2004.05.011

在气体配比HCl:Xe:He=0.12%:1%:98.88%实现了大功率短脉冲XeCl准分子激光器,以纳米异质结构、微观量子阱、表面微小尺度薄膜沉积,镀制金刚石薄膜、半导体薄膜、巨磁薄膜,及外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,设计了高能量、短脉宽脉冲放电激励的XeCl准分子激光器新型结构,完成了脉冲波形测试.试验结果表明:激光脉宽最短13 ns,单脉冲能量450 mJ,矩形光斑大小2 cm×1 cm,束散角3 mrad,最高重复频率5 Hz.验证了激光器结构、动力学速率方程、总结出了饱和增益、脉宽规律.产生的短脉宽激光热融蚀效应小,类金钢石材料对基底形成了良好的等离子溅射羽辉.

关键词: 激光技术 , XeCl激光 , 纳秒放电 , 脉冲激光沉积技术 , 预电离 , 辉光放电

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