吴根柱
,
齐鸣
,
叙安怀
,
张永刚
,
李爱珍
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.03.023
采用金属银(Ag)做为高反射镀膜材料,ZrO2介质膜作为与激光器端面的绝缘层和 Ag保护膜,在激光器后腔面实现了高反射涂层.经激光器光电特性测试表明,该高反射膜系能使激光器输出功率提高 60%,阈值电流减小 20%～50%,并且具有良好的化学稳定性、热稳定性和机械强度,能有效保护半导体激光器后腔面.
关键词:
后腔面
,
反射率
,
高反射膜
,
半导体激光器
李海兵
,
徐勇军
,
蔡其文
,
涂伟萍
,
廖俊旭
中国表面工程
doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2016.03.005
采用磁过滤阴极真空弧沉积(FCVAD)与磁控溅射(MS)两种技术在玻璃上制备厚度分别为75 nm和165 nm的Glass/Al高反射薄膜,利用Lambda 950分光光度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜、附着力测试仪、摩擦试验机和加速老化试验箱分别表征薄膜的反射率、表面形貌、粗糙度、附着力、耐摩擦和耐老化性能,通过薄膜性能评估分析两种技术制备高反射膜性能的差异.结果表明:在双方优化工艺下,FCVAD制备的薄膜表面形貌和附着力优于MS薄膜;FCVAD制备的75 nm和165 nm薄膜反射率比同厚度MS薄膜高出3.3％～4.2％;75 nm厚的薄膜方均根粗糙度明显小于同厚度的MS薄膜;FCVAD制备的75 nm薄膜老化后反射率仅下降1.2％,而MS同厚度薄膜反射率下降了3.3％～4％.说明FCVAD在制备高反射膜方面比磁控溅射更有优势.
关键词:
光学薄膜
,
物理气相沉积
,
磁过滤阴极真空弧沉积
,
磁控溅射
,
高反射膜
胡江川
,
王万录
,
冯庆
,
刘高斌
,
吴子华
,
葛芳芳
材料导报
介绍了高反射膜的研究现状和意义,重点综述了高反射膜的制备方法,损伤阈值测定,抗激光损伤性能的研究,以及研究热点,最后对其前景进行了展望.
关键词:
高反射膜
,
激光损伤
,
损伤阈值
