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纳米ZrO2缓冲膜的性能研究

于云 , 王晓萍 , 胡行方

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.02.009

用溶胶-凝胶技术,在金膜与基体不锈钢箔之间制备了一层ZrO2缓冲膜.在前期研究工作的基础上,通过TEM、AES、SEM等测试手段对ZrO2缓冲膜的结构及性能进行了表征.结果表明,溶胶-凝胶法制备的ZrO2缓冲膜的粒度尺寸为纳米级;850℃热处理后,没有涂覆缓冲膜的蒸金不锈钢箔与金膜之间存在着严重的互扩散反应,缓冲膜的涂覆可以有效地抑制高温互扩散反应.带有缓冲膜的蒸金不锈钢箔在高温热处理后仍能保持清晰的Au/ZrO2/SS"三明治"结构及较为光滑平整的富金表面形貌.

关键词: 纳米ZrO2 , 缓冲膜 , 溶胶-凝胶 , 高温互扩散反应

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