谢和平
,
张树人
,
杨成韬
,
张洪伟
,
叶井红
材料导报
薄膜体声波滤波器作为一种发展高频滤波器的全新解决方案,比声表面波滤波器(SAWF)、陶瓷介质滤波器具有更高的Q值,低的损耗和在高频时具备更高的功率承受能力.介绍了薄膜体声波谐振器的研究历史和研究概况,薄膜体声波谐振器的原理和3种典型结构,具体阐述了薄膜体声波谐振器的关键技术及其材料体系的要求.
关键词:
微电子机械系统
,
薄膜体声波谐振器
,
SMR结构
,
悬空结构
赵林林
,
徐晨
,
霍文晓
,
赵慧
,
杨道虹
,
沈光地
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.024
利用纳米硬度计通过对超薄悬空薄膜的弯曲试验来测定硅可动悬空薄膜的弹性模量.硅悬空薄膜采用各向异性湿法腐蚀自停止技术制备.纳米硬度计测试方法精确测量了硅悬空薄膜的弯曲形变.试验研究表明,尺寸为2mm×1μm的硅悬空薄膜的弹性模量平均值为152GPa,差异为3.9%-6.8%.
关键词:
微电子机械系统
,
振动薄膜
,
杨氏模量
,
纳米硬度计
班书宝
,
陈秋月
,
周庚侠
,
孙天玉
,
顾济华
,
吴东岷
材料导报
根据小形变时的简单梁理论,给出了由碳纳米管悬空部分粘附时的几何形貌来计算平行碳纳米管之间粘附力的理论模型,推导了平行碳纳米管之间粘附力的计算公式以及碳纳米管粘附到沟槽基底时与沟槽基底的粘附力计算公式.由于碳纳米管本身的尺度小,实验上无法直接测量出平行碳纳米管之间的粘附力.本研究给出的计算公式可以由扫描电子显微镜(SEM)下观测到的碳纳米管悬空部分粘附时的几何形貌计算出平行碳纳米管之间的粘附力.根据文献中给出的平行碳纳米管之间粘附力的理论计算结果,估算了不同间距的平行碳纳米管能够粘附在一起所需要的槽口宽度,以及碳纳米管恰好粘附到沟槽基底时不同槽口宽度和深度之间的对应关系.这些结果对制备用于测量平行碳纳米管之间粘附力的悬空结构提供了重要的参考价值.
关键词:
单壁碳纳米管
,
粘附力
,
临界槽口宽度
杨扬
,
田景华
,
罗仲梓
,
吴孙桃
,
田中群
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.10.071
将普通光刻技术和电化学技术相结合,在微芯片上制备得到了机械可控断裂结法(MCBJ)所需的悬空纳米间隔金属电极对,并分别用热氧化二氧化硅和聚酰亚胺(PI)作为牺牲层使得电极对悬空,明显提高了可控断裂的实验成功率,并延长了微芯片使用寿命.利用分子自组装和MCBJ方法成功构筑了金属/分子/金属结,并实施了对巯基苯胺(BDT)单分子的电学性质测量,得到了BDF的电导值和I-V特性曲线.
关键词:
分子电子学
,
机械可控裂结法
,
单分子电导
,
牺牲层
,
微加工
吴元庆
,
张金晶
,
刘春梅
,
陆晓东
,
周涛
硅酸盐通报
红外非制冷热探测器的制备,通常在CMOS读出电路上制作悬空结构来实现.传感器将吸收的热量转化为电信号由检测电路检出,但该结构吸收效率偏低.本研究提出了一种基于光栅陷光结构激发表面等离子体谐振吸收的红外探测器结构.基于电磁场理论分析了结构参数对红外光学吸收的影响,利用数值模拟的方法,研究了金属-介质-金属三明治结构红外探测器的吸收效率,并通过结构参数的优化使吸收结构对特定红外波段的吸收率达到95％以上,在整个波长范围内平均吸收效率达32.6％.
关键词:
非制冷
,
红外探测器
,
等离子体谐振
,
光栅
段沐枫
,
李宁
,
郑莹莹
,
肖军
,
李勇
宇航材料工艺
K-cor是应用Z-pin增强技术的一种新型高性能结构.本文以NHZP-1树脂为基体研究适合K-cor结构的半固化Z-pin拉挤工艺,得到固化度为51.25％的Z-pin为满足制备要求的最佳参数,并制作悬空装置采用两步法进行半固化Z-pin的植入和压弯,探索出压弯和后固化工艺.在此基础上,对试制的K-cor夹层结构进行平拉和剪切试验研究.结果发现,折弯长度是K-cor夹层结构的另一重要参数,较长的折弯长度会增加Z-pin与蒙皮的结合面积从而提高结构的拉伸性能.
关键词:
复合材料
,
半固化Z-pin
,
K-cor夹层结构
,
制备工艺
,
力学性能
贾雁鹏
,
郑美玲
,
董贤子
,
赵震声
,
段宣明
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2014.06.542
利用飞秒激光双光子微纳加工技术与化学镀工艺制备了三维金属微弹簧结构.采用扫描电子显微镜(SEM)及选区电子能谱(EDS)对镀层进行了表征,当化学镀时间为15 min时,所得到的镀层厚度约为130 nm.对不同电镀时间下获得的镀层电阻率进行了测定,实验结果表明,当电镀时间为35 min时得到的镀层电阻率约为80×10-9 Ω·m,仅为银块体材料电阻率16×10-9 Ω·m的5倍.利用这种方法,我们制备了总长度为28.75 μm、周期为2.93 μm的悬空金属弹簧结构,其中弹簧圈数为9圈,直径为6 μm,弹簧线分辨率为1.17 μm.文中所述的将双光子微纳加工技术与化学镀技术相结合的方法可以实现任意三维微金属结构与器件的制备,在微光学器件、微机电系统(MEMS)及微传感器等领域有着广泛的应用前景.
关键词:
双光子微纳加工技术
,
化学镀
,
三维金属微纳米结构
